P13-2017-81. ƒ Ê Î 1, 2,.. ƒê μ 1, 3,. ÉÓ±μ 2, O.M.ˆ μ 1,.. Œ É μë μ 1,.. μ μ 1,. ƒ. Ê±μ ± 1,.. ³ 1,.. ±Ê Éμ 1 ˆ ˆ ˆ ˆ Š ˆ Si- ˆ SiC- Š Š ˆ ² μ Ê ² μ Ò É Ì ± Ô± ³ É 1 Ñ Ò É ÉÊÉ Ö ÒÌ ² μ, Ê 2 ² ±É μé Ì Î ± É ÉÊÉ, ²μ ͱ Ö ± ³ Ö Ê±, É ² 3 Í μ ²Ó Ò ² μ É ²Ó ± Ö Ò Ê É É Œˆ ˆ, Œμ ±
ƒ Ê Î.. P13-2017-81 ˆ ² μ Í μ μ Éμ ±μ É Si- SiC- É ±Éμ μ Êα μ μ É ² Ò Ê²ÓÉ ÉÒ ² μ Ö Ì ±É É ± É ±Éμ μ μ μ ± ³ Ö (Si) ± ± ³ Ö 4 -SiC μ ²ÊÎ ² Î Ò³ É ²Ó- Ò³ μéμ± ³ μ μ ± μ (Xe). ²ÊÎ Ö μ μ ² Ó Í ±²μÉ μ IC-100 μ Éμ Ö ÒÌ ±Í ³. ƒ.. ² μ ˆŸˆ. μ± μ, ÎÉμ ÊÌÊ Ï μéμ μ μ μ É SiC-... ÉÊ É μ² Ò μ± Ì μ μ ÒÌ Ê ± Ì, Î ³ μ²ó μ Si- É ±Éμ μ. μé Ò μ² μ Éμ Ö ÒÌ μ ² ³ ³... ² μ ˆŸˆ. É Ñ μ μ É ÉÊÉ Ö ÒÌ ² μ. Ê, 2017 Hrubcn L. et al. P13-2017-81 Investigation of Radiation Hardness of Si and SiC Detectors by Xe Ion Beam The properties of silicon and silicon carbide (SiC) detectors after their irradiation by different doses of xenon ions are presented. The irradiation of detectors was carried out at the IC-100 cyclotron at the Flerov Laboratory of Nuclear Reactions of JINR. It is shown that the degradation of spectroscopy characteristics of SiC detectors takes place at higher dose than the similar Si detectors used at experiments. The investigation has been performed at the Dzhelepov Laboratory of Nuclear Problems, JINR. Preprint of the Joint Institute for Nuclear Research. Dubna, 2017
ˆ Š ³ Ò μ²ê μ μ ±μ Ò É ±Éμ Ò (Si-...), ±μéμ Ò Ï μ±μ μ²ó ÊÕÉ Ö Ë ± ± Ì Ò μ± Ì Ô, μ É ÉμÎ μ ÎÊ É É ²Ó Ò ± Í μ Ò³ μ Ö³. μìμ μ ÊÕÐ Î É ÍÒ μ μ³ ³ É ² ³μ ÊÉ μ ± ÉÓ ÊÏ Ö ± É ²² Î ±μ Ï É± : ³ Ð Ö Ò Ö Éμ³μ Ê ²μ Ï É±, ³ μéμ μ μ μ- É Ê²ÓÉ É Ö ÒÌ ±Í. Ò μí Ò μ ÖÉ ± μ μ - Õ Í É μ Ì É ±μ³ Í μ É ² Ö, É ± ± ³ Õ Ì ÔËË ±É μ ( μ μ μ, ±Í Éμ μ ) ±μ Í É Í. μ²óï μ Ò μ - ²ÊÎ Ö... μ ÖÉ ± ³ É μ³ê ÊÌÊ Ï Õ Ô É Î ±μ μ Ï Ö Ê³ ÓÏ Õ ³ ² ÉÊ Ò ², ÎÉμ, μμé É É μ, μ Ê ²μ ² μ ʳ Ó- Ï ³ ³ μ É ² μ² Ò³ μ ³ Ö. μ ² μ Ò ²Ö μ Ö Í μ μ Éμ ± Ì μ μ ±É μ ³ Ö É Ö ± ± ³ Ö ( μ² É 4 -SiC) [1, 2]. Éμ μ Ê ²μ ² μ É ³, ÎÉμ Ò ³ É ² μ Õ ± ³ ³ ³ É μ²óï Î Ö Ï - Ò Ð μ μ Ò ( 3 ) μ μ μ μ Ô Ë ±Éμμ μ Ö ( 2 ). μé ² μ ² Ó Ì ±É É ± É ±Éμ μ μ μ ± ³ Ö (Si) ± ± ³ Ö 4 -SiC μ ²ÊÎ ² Î Ò³ É ²Ó Ò³ μ- Éμ± ³ μ μ ± μ (Xe). ²ÊÎ Ö μ μ ² Ó Í ±²μÉ μ IC-100 μ Éμ Ö ÒÌ ±Í ³. ƒ.. ² μ ˆŸˆ [3]. Š ˆ ˆŠˆ Š ²Ö ³ μ²ó μ ² Ó μ É ±Éμ : μ μ Si SiC. Si- É ±Éμ Ò μéμ ² Ò μ ² μ É Ì μ²μ [4] ± ³ Ö n-é ( Ê ²Ó Ò³ μ μé ² ³ ρ 6± ³ ³). Ò Ö³²ÖÕÐ μ³ Î ± ±μ É ±ÉÒ Ëμ ³ μ ² Ó ³ ² É Í μ Ëμ Ëμ (Éμ²Ð μ ³ É- μ μ ²μÖ μ Éμ μ Ò p n- Ìμ 60 ³). É ±Éμ Ò ³ ² ±É ÊÕ ²μÐ Ó 8 8 ³³ Éμ²Ð Ê 300 ³±³. SiC- É ±Éμ Ò [5, 6] Ò² μéμ ² Ò ² ±É μé Ì Î ±μ³ É - ÉÊÉ ( ²μ ͱ Ö ± ³ Ö Ê±, É ² ) μ μ Ô É ± ²Ó μ μ ²μÖ 4H-SiC n-é μ μ ³μ É, ±μéμ Ò Ò² μ²êî ³ Éμ μ³ Ô É ± ²Ó μ μ Ò Ð Ö ±μ Ë Ò μ μ ÖÐ Ì n + - μ ²μ ± Ì 4H-SiC Ë ³Ò L.P.E. (ˆÉ ² Ö). ³ É Ìμ μ μ ²μ ± 3, Éμ²Ð 350 ³±³, ±μ - Í É Í Ö ³ 2 10 18 ³ 3. μ Ò Ô É ± ²Ó Ò ²μ ³ ² Éμ²Ð Ê 102 ³±³ ±μ Í É Í Õ μ μ μ ( μé μ ) ³ 2 10 14 ³ 3. É ±Éμ Ò μé ² ² Ó μ Í Ì ³ μ³ 6 6 ³³. Ò Ö³²ÖÕÐ ±μ É ±ÉÒ 1,4 ³³ μ ² Ó ±Êʳ Ò³ Ò² ³ μ μ μ ²μÖ Ni Au μμé É É μ Éμ²Ð μ 40 80 ³. ³ Î ± ±μ É ±É μé ² - ² Ö ²μ Î Ò³ μ μ³, ÔÉμ³ Ò² μ μ ²μ Ó Õ ÕÕ μ Ì μ ÉÓ μ Í. 1
μ μ ³ ÒÌ μ²óé- ³ ÒÌ μ²óé-ë ÒÌ Ì ±É É ± Ò²μ Ê É μ ² μ, ÎÉμ μî Ö Si- SiC- É ±Éμ Ì μ É ²Ö É μμé É É μ 40 120. ²Ö Ì É ±Éμ μ Ìμ μ Ô É Î ±μ Ï, ³ μ ²Ö α-î É Í Ô E 5,5 ŒÔ, ÒÏ ²μ 25 ±Ô. Œ ˆŠ ˆ œ ˆ Œ ˆ ²ÊÎ μ Íμ μ μ ²μ Ó ÊÎ±μ³ μ μ 132 Xe 26+ Ô 165 ŒÔ. Ì ³ ³ ²Ö μ ² Ö Í μ μ Éμ ±μ É É ±- Éμ μ É ². 1. É ±Éμ Ò ³ Ð ² Ó ±Êʳ μ ± ³. ÊÎμ± μ μ μ ² Ì Î ±μ²² ³ Éμ 6 ³³. ± ³ μ É ÉμÎ μ Ê ² μ³ - ÉμÖ μé É ±Éμ Êα É ± ³ Ð ² Ö α- ÉμÎ ± 226 Ra (E α 4,8, 5,5, 6,0, 7,7 ŒÔ ), ±μéμ Ò μ²ó μ ² Ö ²Ö μ ÉμÖ μ μ É É - μ Ö É ²Ó μ É Ì ±É É ± ² Ê - ³ÒÌ É ±Éμ μ. Si- É ±Éμ Ò μ ²ÊÎ ² Ó μ ³ É - ²Ó Ò³ μ ³ μé 1,2 10 6 μ 2,6 10 7 ³ 2.. 2 μ± Ò ±É Ò μ μ, ³ Ò μ ³ Si-... ÒÌ μ Ì 3,5 10 6 2,6 10 7 ³ 2. ÒÌ ± ² Ì ±É μ -. 1. Ì ³ ³ : 1 Å É ±Éμ ; 2 Å ±μ²² ³ - ²Õ ÕÉ Ö α- ± μé É Éμ μ μ ÉμÎ ± 226 Ra. Éμ ; 3 Å α- ÉμÎ ± 226 Ra μ, ÎÉμ Ê ² Î ³ μ Ò μ ²ÊÎ Ö μ- Ìμ É ÊÌÊ Ï Ô É Î ±μ μ Ï Ö (ΔE/E, ΔE Å,E Å Ô Ö) ʳ ÓÏ ³ ² ÉÊ Ò - ² Si- É ±Éμ Ì. É ². 1 μ± Ò Ê Ò Ì ±É É ± ÔÉ Ì É ±Éμ μ, μ ² Ò μ³μðóõ μ μ α-î É Í (E α 7,7 ŒÔ ) ÒÌ μ Ì μ ²ÊÎ Ö. SiC- É ±Éμ Ò μ ²ÊÎ ² Ó μ ³ É ²Ó Ò³ μ ³ μé 1,9 10 7 μ 2,3 10 9 ³ 2. ² Ê É μé³ É ÉÓ, ÎÉμ ³ ± ³ ²Ó μ Î μ Ò ² Í 1. ±É É ± Si- É ±Éμ μ, μ²êî Ò μ ²ÊÎ μ ³ Ò³ μ ³ μ, ³ 2 Ï ΔE/E, % ³ ² ÉÊ Ò ², % É Î ±μ ³ ÓÏ μ Ò α-î É ÍÒ μ Ò α-î É ÍÒ 1,2 10 6 6 0,9 5 2 3,5 10 6 7 1,1 18 8 2,6 10 7 9 1,4 50 30 2
. 2. ±É Ò μ μ, ³ Ò Si-... μ Ì 3,5 10 6 (1) 2,6 10 7 ³ 2 (2). 3. ±É Ò μ μ, ³ Ò SiC-... μ Ì 1,9 10 7 ³ 2 (1) 2,3 10 9 ³ 2 (2) μ Ö ± μ²óï, Î ³ μ ²ÊÎ ± ³ ÒÌ É ±Éμ μ. Éμ Ò²μ μ Ê ²μ ² μ μ ÒÏ μ Í μ μ Éμ ±μ ÉÓÕ ÔÉ Ì μ μ.. 3 μ± Ò ±É Ò μ μ, ³ Ò μ ³ SiC-... ÒÌ μ Ì 1,9 10 7 2,3 10 9 ³ 2. Š ± ²Ö ± ³ ÒÌ Î ÉÎ ±μ, ²Õ É Ö 3
² Í 2. ±É É ± SiC- É ±Éμ μ, μ²êî Ò μ ²ÊÎ μ ³ μ, ³ 2 Ï ΔE/E, % ³ ² ÉÊ Ò ², % É Î ±μ ³ ÓÏ μ Ò α-î É ÍÒ μ Ò α-î É ÍÒ 1,9 10 7 5 1,1 6 3 2,3 10 9 15 2,9 37 32 Í Ö Ì ±É É ± SiC- É ±Éμ μ, μ μ² Ò μ± Ì μ μ ÒÌ Ê ± Ì. É ². 2 μ± Ò Ê Ò Ì ±É É ± SiC- É ±Éμ μ, μ ² Ò μ³μðóõ μ μ α-î É Í (E α 7,7 ŒÔ ) ÒÌ μ Ì μ ²ÊÎ Ö. Š ˆ É ² Ò Ì ±É É ± É ±Éμ μ μ μ ± ³ Ö ± - ± ³ Ö, ±μéμ Ò μ ²ÊÎ ² Ó ² Î Ò³ É ²Ó Ò³ μéμ± ³ μ- μ (E = 165 ŒÔ ), μ± Ò ÕÉ, ÎÉμ Í μ Ö Éμ ±μ ÉÓ SiC-... Î É ²Ó μ ÒÏ, Î ³ Si- É ±Éμ μ. ² μ É ²Ó μ, SiC- É ±Éμ Ò ³μ ÊÉ ÒÉÓ μ²ó μ Ò ²Ö ² É ²Ó μ μ ³μ Éμ μ Ö Êαμ ÉÖ ²ÒÌ μ μ ±² ÒÌ Î Ì [3]. ˆ 1. Bruzzia M., Sadrozinskib H. F.-W., Seiden A. // Nucl. Instr. Meth. A. 2007. V. 579. P. 754; doi:10.1016/j.nima.2007.05.326. 2. Kalinina E. V. // Semiconductors. 2007. V. 41. P. 745; doi:10.1134/s1063782607070019. 3. Gikal B. N., Gulbekyan G. G., Dmitriev S. N., Bogomolov S. L., Borisov O. N., Ivanenko I. A., Kazarinov N. Y., Kazacha V. I., Kalagin I. V., Kolesov I. V., Sazonov M. N., Tikhomirov A. V., Franko J. // Phys. Part. Nucl. Lett. 2010. V. 7. P. 557; doi:10.1134/s1547477110070289. 4. Bloch P., Cheremukhin A., Golubkov S., Golutvin I., Egorov N., Konjkov K., Kozlov Y., Peisert A., Sidorov A., Zamiatin N. // IEEE Trans. 2002. V. NS-49.. 321; doi:10.1109/tns.2002.998662. 5. Dubecky F., Gombia E., Ferrari C., Zat'ko B., Vanko G., Baldini M., Kovac J., Bacek D., Kovac P., Hrkut P., Necas V. // JINST. 2012. V. 7.. P09005; doi:10.1088/1748-0221/7/09/p09005. 6. ƒê μ.., μ μ C.., Ê±μ ±. ƒ., Ÿ±ÊÏ.., Hrubcn L., Zat'ko B. //. 2015. º 1. C. 29Ä31; doi:10.7868/s003281621501005x. μ²êî μ 23 μö Ö 2017.
±Éμ.. ƒ μ Ó μ μ Î ÉÓ 16.01.2018. μ ³ É 60 90/16. ʳ μë É Ö. Î ÉÓ μë É Ö. ². Î. ². 0,44. Î.-. ². 0,51. 215 Ô±. ± º 59319. ˆ É ²Ó ± μé ² Ñ μ μ É ÉÊÉ Ö ÒÌ ² μ 141980,. Ê, Œμ ±μ ± Ö μ ²., ʲ. μ² μ-šõ, 6. E-mail: publish@jinr.ru www.jinr.ru/publish/